東莞市洲達(dá)實(shí)業(yè)投資有限公司
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東莞無塵室所需要空調(diào)的特性
所需的外氣較多
東莞無塵室的由于半導(dǎo)體工廠中，制程系統(tǒng)需使用大量的化學(xué)品和毒氣，這些化學(xué)品和毒氣所產(chǎn)生的揮發(fā)氣體和廢氣必須予以全數(shù)排除，故排氣量相當(dāng)大，為維持無塵室壓力比外面的大氣壓力大，此時(shí)所補(bǔ)充的空氣量亦隨之增加。
空調(diào)系統(tǒng)24小時(shí)全天運(yùn)轉(zhuǎn)并監(jiān)控管理
半導(dǎo)體工廠部分制程設(shè)備，對(duì)溫溼度變化極為敏感，如黃光區(qū)Stepper光學(xué)機(jī)臺(tái)，些微的溫、溼度變化均會(huì)使設(shè)備的準(zhǔn)度偏差，另外芯片等產(chǎn)品也必須置放在定溫定溼的環(huán)境下，故空調(diào)系統(tǒng)必須24小時(shí)監(jiān)控管理之。
半導(dǎo)體廠無塵室室內(nèi)壓力大小
半導(dǎo)體廠東莞無塵室內(nèi)壓力必須比室外高些許，除了為避免室外的溫、溼度、微粒影響無塵室生產(chǎn)區(qū)的環(huán)境條件外，并可延長(zhǎng)無塵室ULPAfilter的壽命，但不能無條件增加，如此將使向外逸散的潔凈空氣增加而增加運(yùn)轉(zhuǎn)成本。
氣流分布須均勻
東莞無塵室空調(diào)為帶走無塵室內(nèi)所產(chǎn)生的微塵粒子以維持潔凈度故除了氣流速度須達(dá)到一定之要求標(biāo)準(zhǔn)外，氣流的流線形狀也必須依不同的無塵室等級(jí)加以適當(dāng)?shù)目刂啤?
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